采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質(zhì)時(shí)，等離子體中的高能離子起決定性的作用。流星雨?duì)畹母吣茈x子與介質(zhì)內(nèi)分子（原理）發(fā)生非彈性碰撞，將能量轉(zhuǎn)化成基態(tài)分子（原子）的內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)、離解、電離等一系列過程使污染介質(zhì)處于活化狀態(tài)。污染介質(zhì)在等離子體的作用下，產(chǎn)生活性自由基，活化后的污染物分子經(jīng)過等離子體定向鏈化學(xué)反應(yīng)后被脫除。當(dāng)離子平均能量超過污染介質(zhì)中化學(xué)鍵結(jié)合能時(shí)，分子鏈斷裂，污染介質(zhì)分解，并在等離子發(fā)生器吸附場的作用下被收集。在低溫等離子體中，可能發(fā)生各類型的化學(xué)反應(yīng)，這主要取決于等離子的平均能量、離子密度、氣體溫度、污染物介質(zhì)內(nèi)分子濃度及共存的介質(zhì)成分。對氣態(tài)有機(jī)污染物的降解機(jī)理有足夠的能量來產(chǎn)生自由基，引發(fā)一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)。由低溫等離子體引起的氣體有機(jī)物化學(xué)反應(yīng)是在氣相中進(jìn)行的電離、離解、激發(fā)、原子.分子間的相互結(jié)合及加成反應(yīng)。這個(gè)能量足以使大多數(shù)氣態(tài)有機(jī)物中的化學(xué)鍵發(fā)生斷裂，從而使其降解。從凈化空氣效率考慮，我們選擇了電暈電流較高化裝置采用脈沖電暈放電低溫等離子體與吸附技術(shù)相結(jié)合的原理對有害氣體進(jìn)行消除，其中低溫等離子體主要用來去除硫化氫、氨、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、丙酮、尿烷、樹脂、等氣體及消毒滅菌，吸附材料主要用于去除二氧化碳以及臭氧等副產(chǎn)物。凈化裝置由初濾單元、低溫等離子體發(fā)生器及過濾單元、風(fēng)機(jī)等設(shè)備和部件組成。

1、初級電子在電場中獲得加速，撞擊空氣中的氧分子。當(dāng)能量超過氧分子的電離電位時(shí)氧分子迅速離子化。失去電子的氧分子變成正極性氧離子（O2+），而釋放的電子又與另一中性氧分子結(jié)合變成負(fù)極性氧離子（O2－），結(jié)果是氧離子的兩級分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2－、O2等氧聚集的離子群，具有極強(qiáng)的氧化性，可在很短的時(shí)間內(nèi)將污染空氣中的有害成分氧化分解為無害的產(chǎn)物和水；  

在等離子體的高能量作用下，產(chǎn)生了大量的離子、自由基、氫氧自由基，產(chǎn)生機(jī)理如下：O2+e（3.6eV）→·O+O H2O+e（5.09eV）→·OH+H－O+·OH→·OH2研究表明：活性自由基·OH的氧化電位（2.8eV）比氧化性極強(qiáng)的臭氧的氧化電位（2.07eV）還高出35％。·OH自由基與有機(jī)物的反應(yīng)速度高出幾個(gè)數(shù)量級。而且·OH自由基對氧化污染物的反應(yīng)是無選擇性的，可引發(fā)鏈?zhǔn)椒磻?yīng)，直接將污染空氣中的大部分有害物質(zhì)氧化為二氧化碳和水或礦物質(zhì)。其作用機(jī)理如下：H2S+·OH→HS+H2O HS+O2+O2＋+O2－→SO3+H2O NH3·OH→NH2+H2O NH2+O2+O2＋+O2→→NOX+H2O CH2O+ O2＋+O2→+·OH→H·COOH+H2O實(shí)踐證明，一定濃度污染空氣中的大部分有害物質(zhì)能在很短的間內(nèi)被氧化分解，轉(zhuǎn)化率平均在90％以上。